超聲掃描顯微鏡（Scanning Acoustic Microscopy，SAM）是利用超聲波技術將微弱的超聲脈沖傳入被測樣品，通過對樣品脈沖反射、回波強度、對比關系和吸收能力等信息的分析獲取對樣品材料的顯微結構研究。下面我們詳細介紹一下超聲掃描顯微鏡的工作原理、適用領域以及優勢。

1.工作原理

超聲顯微鏡的一種典型實現方式是利用雙面傳感器監測樣品表面和反射點之間的超聲波傳輸，采取掃描方式獲得樣品的顯微結構信息。當一個超聲波脈沖傳入樣品時，其中一部分被樣品表面反射，一部分、經過樣品的內部、透射至其它界面再反射。由于樣品內部的多種組織結構（包括孔隙、接觸、界面）對超聲波的傳播及吸收產生差異，因此在回到傳感器時，每個組織結構都會產生單獨的回波。 通過對這些回波的分析，隨著掃描裝置的移動和觀察方向的變化，SAM能夠呈現出樣品內部的顯微結構和特征。

2.適用領域

超聲顯微鏡技術可以在各種材料研究中得到應用，如微電子、半導體、材料科學、納米制品等。默認地，SAM主要應用于包括聚合物、金屬、陶瓷、水晶等在內的硬性材料，尤其是檢測半導體芯片及電子元器件中的缺陷、疾病、裂縫和結構變化等。而且由于其較好的分辨率和成像能力，SAM技術在生物醫學領域也得到廣泛應用，如腫瘤診斷、組織切片的顯微檢測和生物顆粒物的研究等。

3.優勢

超聲顯微鏡無需對材料進行特殊的樣本制備，材料的表面可以處于其它狀態(該狀態下超聲波的探測性能下降)；而傳統的顯微鏡技術往往需要對樣品進行特殊的加工和制備。SAM成像的深度和分辨率都比傳統掃描式電子顯微鏡和光學顯微鏡有一定的優勢，能夠顯示不同的組織結構和材料內部的特征以及物理性質。SAM的成像速度較快，能夠在低于常溫的環境下工作并且易于操作。

總之，超聲掃描顯微鏡技術的特點在于無需樣品制備、分辨率高、成像速度快，而且具有靈敏度高、對多種材料都適用等優點。