C-SAM，全稱(chēng)為超聲波掃描顯微鏡，或超聲波顯微鏡。半導(dǎo)體業(yè)界通常都直接簡(jiǎn)稱(chēng)為SAT，主要應(yīng)用到半導(dǎo)體器件的后封裝檢測(cè)當(dāng)中。在其正式運(yùn)用到半導(dǎo)體工業(yè)之前，超聲波掃描顯微鏡主要用于生物學(xué)和醫(yī)學(xué)研究，但隨著時(shí)代的推進(jìn)，科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)，這類(lèi)顯微鏡在檢測(cè)元器件內(nèi)部缺陷時(shí)，也表現(xiàn)出了令人驚艷的能力。不過(guò)這類(lèi)造價(jià)高昂的設(shè)備，在使用時(shí)也是有許多注意事項(xiàng)的。

1、請(qǐng)勿觸碰顯微鏡機(jī)器的內(nèi)部電子元件，以免損壞；

2、操作時(shí)請(qǐng)勿將手放置在顯微鏡機(jī)器上；

3、請(qǐng)勿用力拉動(dòng)顯微鏡控制臺(tái)；

4、使用顯微鏡時(shí)，請(qǐng)確保室內(nèi)溫度和濕度適宜；

5、操作結(jié)束后，請(qǐng)關(guān)閉電源，將顯微鏡機(jī)器放回原處；

6、使用前應(yīng)檢查顯微鏡機(jī)器的安全性；

7、顯微鏡操作人員應(yīng)接受相關(guān)安全培訓(xùn)，并承擔(dān)任何潛在的風(fēng)險(xiǎn)；

8、顯微鏡機(jī)器應(yīng)定期維護(hù)和檢查，以保證正常運(yùn)行；

除此之外，C-SAM也有著一套較為嚴(yán)謹(jǐn)?shù)牟僮髁鞒蹋?/p>

1、正確安裝超聲波掃描顯微鏡，將鼠標(biāo)和控制臺(tái)連接到超聲波掃描顯微鏡上；

2、打開(kāi)超聲波掃描顯微鏡，選擇所需的觀察模式，調(diào)節(jié)放大倍率；

3、用液體填充濾片，然后將濾片插入顯微鏡小玻片架；

4、調(diào)整聚焦輪，使液層平整，然后調(diào)整聚光輪，聚合觀察樣品；

5、選擇掃描模式，將濾片放置于掃描區(qū)域，拖動(dòng)鼠標(biāo)控制臺(tái)，以控制掃描位置；

6、調(diào)整掃描時(shí)間，掃描完成后記錄顯微鏡掃描結(jié)果；

7、拆卸濾片，將濾片放回原處，清潔顯微鏡，關(guān)閉顯微鏡機(jī)器；

C-SAM作為一種跨界幅度較大的檢測(cè)類(lèi)設(shè)備，使用的細(xì)節(jié)和注意事項(xiàng)就是以上這些，但因?yàn)槠放埔约爱a(chǎn)品型號(hào)有所差異，因此具體的情況還是要以說(shuō)明書(shū)標(biāo)注的為準(zhǔn)，但只要大方向沒(méi)有問(wèn)題，基本上數(shù)據(jù)就不會(huì)有太大的偏差，放心操作檢測(cè)即可。